碳化硅衬套的维护方法

点击次数:   更新时间:2022-06-09 09:49:06   分    享:
  碳化硅衬套具有电阻率稳定、抗氧化性好、高温强度高、加工性能好、使用寿命长的特点,本文主要分享碳化硅衬套的维护方法。
  1.注意清洁。用注射器向碳化硅衬套内,注入约30毫升清洗液,清洗衬套,当喷嘴喷出的清洗液没有明显的墨色时,停止清洗。
  2.注意保护碳化硅衬套的耐化学性。当碳化硅材料在氧气中烘烤到1300时,在碳化硅晶体表面形成了二氧化硅保护层。随着保护层的增厚,防止了内衬套进一步结合,使衬套具有更好的耐化学性。当气温达到1900K或以上时,二氧化硅保护膜已被破坏,套管的结合效果增强。
  3.尽量不要接近碳化硅衬套的高使用温度,反应烧结碳化硅衬套的高使用温度为1380度。
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