碳化硅衬套的维护方法

　　碳化硅衬套具有电阻率稳定、抗氧化性好、高温强度高、加工性能好、使用寿命长的特点，本文主要分享碳化硅衬套的维护方法。
　　1.注意清洁。用注射器向碳化硅衬套内，注入约30毫升清洗液，清洗衬套，当喷嘴喷出的清洗液没有明显的墨色时，停止清洗。
　　2.注意保护碳化硅衬套的耐化学性。当碳化硅材料在氧气中烘烤到1300时，在碳化硅晶体表面形成了二氧化硅保护层。随着保护层的增厚，防止了内衬套进一步结合，使衬套具有更好的耐化学性。当气温达到1900K或以上时，二氧化硅保护膜已被破坏，套管的结合效果增强。
　　3.尽量不要接近碳化硅衬套的高使用温度，反应烧结碳化硅衬套的高使用温度为1380度。